納米硬度計(jì)ZHN具備常規(guī)硬度計(jì)難以企及的試驗(yàn)力和位移分辨率，從而保證了能夠針對(duì)薄膜、涂層或微小表面的綜合機(jī)械特性測(cè)試能力，包括測(cè)量壓痕硬度、壓痕模量和馬氏硬度(ISO 14577)。
ZHN裝備了二個(gè)專利型測(cè)量單元:
●法向試驗(yàn)力單元(NFU)
●切向試驗(yàn)力單元(LFU)
當(dāng)使用一個(gè)測(cè)量單元時(shí)(法向試驗(yàn)力單元)，ZHN的功能就如同深度測(cè)量方法的硬度計(jì)。但是深度位移測(cè)量單位可達(dá)到百萬分之幾范圍，最大試驗(yàn)力僅2 N, 可在小于200 nm壓痕深度范圍內(nèi)進(jìn)行納米壓痕深度測(cè)量。
可選擇試驗(yàn)力為0.2 N的測(cè)量壓頭，其數(shù)字試驗(yàn)力分辨率為0.002uN。
ZHN的一個(gè)獨(dú)特地方就是第二個(gè)獨(dú)立的測(cè)量單元-切向試驗(yàn)力單元，同樣具有相同的優(yōu)異分辨率。如果需要，法向和切向試驗(yàn)力單元可以按照實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行組合，極大地?cái)U(kuò)展了測(cè)量選項(xiàng)?？梢宰鳛榧{米級(jí)劃痕試驗(yàn)機(jī)、納米級(jí)磨損試驗(yàn)機(jī)、疲勞試驗(yàn)機(jī)、或成為高分辨率表面粗糙度測(cè)量機(jī)。
其它獨(dú)特性能:
●兩個(gè)測(cè)量單元都能執(zhí)行壓縮和拉伸模式
●兩個(gè)測(cè)量單元都適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量模式，從較小的振蕩頻率直至300Hz,并可加入力信號(hào)或位移信號(hào)，允許接觸剛度的實(shí)際連續(xù)分析
●極其堅(jiān)固結(jié)構(gòu)，消除了任何危害傳感器的風(fēng)險(xiǎn),并且操作簡單
●標(biāo)準(zhǔn)金剛石壓頭能夠方便地替換成其它任何形狀和任何材料的壓頭，而不會(huì)丟失精度，特別應(yīng)用于一些特殊的磨損或粘合測(cè)試
ZHN結(jié)合xyz工作臺(tái)，行程為100 mm (x)，200 mm (y)和70mm(z)，其分辨率為50nm。
ZHN還包含高分辨率光學(xué)系統(tǒng)——2臺(tái) 照相機(jī)和1套自動(dòng)聚焦系統(tǒng)，并且一些元件可適合客戶的需求。
其它特點(diǎn):
●用戶友好的試驗(yàn)軟件InspectorX
●全自動(dòng)接近試驗(yàn)樣品，甚至可按照試樣的高度尺寸而變化
●全自動(dòng)測(cè)量,包括測(cè)量點(diǎn)的圖像生成，
●可以無限制預(yù)設(shè)測(cè)量點(diǎn)位置
●最大程度縮短試驗(yàn)時(shí)間
●批次測(cè)量的每一試驗(yàn)曲線可在一張曲線圖中顯示，并可分析比較
●可以編制特殊試驗(yàn)程序